型号：FEI Nova 450+Raith Elphy Quanta

存放地址：紫金港校区纳米技术研究院大楼A区

服务内容：

1. 石墨烯／二维晶体电子器件的微纳米器件加工。

2. 石墨烯／二维晶体电子器 件的表征（SEM）。

3. 石墨烯／二维晶体的物性表征（SEM）。

4. 强 自旋－轨道耦合的拓扑量子材 料研究。

5. 物理系其他需要微纳米加工平台的课题小 组，如超导量子器件研究，纳米材料器件的研究等。

主要技术指标：

    1.电子光学系统 ★分辨率：二次电子（SE）像 ≤ 1.0 nm @ 15k V；1.4 nm @ 1kV; 加速电压： 0.2kV－30KV。放大倍数误差 ：≤3 % ★电子枪：Schottky场发射电子枪，最大束流200nA ★ 物镜光阑：物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。光阑采取马达驱动 二次电子和背散射电子成像系统：自动调节和手动调节亮度、对比度

2. 样品台：五轴马达驱动 ★样品台移动范围：X/Y≥110mm；Z≥65mm；样品台倾 斜角度：T≥-15～+75°；R=360°连续旋转。样品室尺寸：左右>379mm

3. 分析工作距离：5 mm

4. 数字图像记录系统 图像处理：最大61 44 x 4096像素； 图像显示：单幅图像显示或4帧图像同时显示 图像记录 : TIFF, BMP或JPEG; 图像漂移补偿DCFI.

5. 配置Elec trostatic Beam Blanker和Keithley Picomete r (皮安计)

6. 配置NPGS（纳米图形生成系统）9.1，能和NPGS无缝链接完成电子束曝光

7. 配置UHV腔体，有2个以上可扩展窗口，以备以后系统功 能扩展，比如做EDS和FIB扩展用

功能与用途：1. 高精度电子束曝光（主要功能）;

2. 电子束扫描显微镜成像功能;

3. 2018年配置X射线能量色散能谱: 元素定量分析和二维平面元素分析.

负责人：郑毅

Email：chengm@zju.edu.cn

备注：预约测试请联系 chengm@zju.edu.cn, 需提供样品信息，不接受粉末样品测试，不接受带磁性样品，详情请邮件联系。